蘇州韋特克斯專業提供磁控濺◣射行業的等離子↘體電源(磁控濺射電源,偏壓電源,離№子束電源)。
主要特點:
1,運作和安裝成本低。
2,滅ξ弧響應速度快<5us。
3,處理效率♀高,4:1的阻抗匹配範圍。
4,電壓可『高達20KV。
5,可調頻︼率範圍:10HZ-300KHZ。
6,可〓調占空比可達90%。
7,優異的塗層一致性和塗層品質。
8,反向電壓可以有效避免塗層沈積。
9,內置數字電路,采樣標〒準化設計,模塊化結構。
10,可並聯,串聯工作,提高輸出電〓壓,電流等級。
11,能N+1備份,提高運行可靠性。
12,具有三重快速滅弧功能,實現多重保護。